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García Sánchez, S. (1996). Láminas delgadas de SiNx: H y SiOx depositadas mediante la técnica ECR-CVD para su aplicación en estructuras MIS. Madrid: Universidad Complutense de Madrid.

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García Sánchez, Silvia. Láminas Delgadas De SiNx: H Y SiOx Depositadas Mediante La Técnica ECR-CVD Para Su Aplicación En Estructuras MIS. Madrid: Universidad Complutense de Madrid, 1996.

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García Sánchez, Silvia. Láminas Delgadas De SiNx: H Y SiOx Depositadas Mediante La Técnica ECR-CVD Para Su Aplicación En Estructuras MIS. Madrid: Universidad Complutense de Madrid, 1996.

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